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气源处理元件
直通型空气过滤器 ZFC5□/7□-X05
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・使用压力范围:-100kPa~1.0MPa
1台即可用于正压,也可用于真空
・带锁紧机构
正压时,防止由于松动造成的零部件飞出
・密封(FKM+禁油处理):-X05(订制品)
注)供给压力0.1MPa、差圧30kPa
系列 | 适合管子外径 公制 | 适合管子外径 英制 | 流量 L/min(ANR)注) 正压 | 流量 L/min(ANR)注) 真空压 | 过滤精度 (μm) |
---|---|---|---|---|---|
ZFC5□-X05 | φ4、φ6 | φ5/32''、φ1/4'' | 100/200 | 10/20 | 5 |
ZFC7□-X05 | φ6、φ8 、φ10、φ12 | φ1/4''、φ5/16''、φ3/8'' | 250/450/550/650 | 30/70/80/100 | 5 |
洁净型气体过滤器 SF
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・采用可更换滤芯的夹头型。
(SFA100・200・300,SFB100)
・半导体工艺用的小型一次性过滤器。
(SFB300,SFC100)
形式 | 系列 | 使用压力 | 过滤精度 |
---|---|---|---|
夹头型 圆盘式 | SFA100・200・300 | 最高0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕捉效率99.99%) |
夹头型 直通式 | SFB100 | 最高0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕捉效率99.99%) |
一次性型 直通式 | SFB300 | 最高0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕捉效率99.99%) |
一次性型 多盘型 | SFC100 | 最高0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕捉效率99.99%) |
洁净型空气过滤器 中空类滤芯 SFD
系列 | 种类 | null | 使用压力 | 过滤精度 |
---|---|---|---|---|
SFD100 | 一次性 (不可更换滤芯) | ~100L/min | 最高1.0MPa | 0.01μm (捕捉效率:99.99%) |
SFD110 | 一次性 (不可更换滤芯) | ~120L/min | 最高1.0MPa | 0.01μm (捕捉效率:99.99%) |
SFD200 | 卡盒型 (可更换滤芯) | ~500L/min | 最高1.0MPa | 0.01μm (捕捉效率:99.99%) |
洁净型空气模块 LLB
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・将洁净元件模块化(削减配管工时/省空间)。
可轻松地得到洁净空气。
・过滤精度:0.01μm(捕捉效率99.99%)。
・接触流体部分:无润滑脂、无硅。
・在洁净室内进行双重捆包后出厂。
・有24种组合。
注)入口空气条件 ISO 8573-1 品质等级 相当于1.4.1~1.6.1。
系列 | 使用流体 | 设定压力 | 流量范围 L/min(ANR) |
---|---|---|---|
LLB3 | 洁净空气 N2气体 注) | 0.05~0.4MPa | 5~100 |
LLB4 | 洁净空气 N2气体 注) | 0.05~0.4MPa | 50~500 |
洁净型空气模块 LLB-X100
系列 | 使用流体 | 流量范围L/min(ANR) |
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LLB1-525 | 洁净空气 N2气体 | 0.5〜25 |
LLB1-550 | 洁净空气 N2气体 | 1〜50 |
LLB1-511 | 洁净空气 N2气体 | 2〜100 |