|工艺气体元件-用语集
[语句]工艺气体
光电器件及月亮能电池组的创造操作过程中,晶片处里时食用的惰性气态及专项 气态的总称。
[专业术语]特殊气体
异常其他空气主要的是高压变压器储气瓶所供给的其他空气的总称,此类其他空气会包括致癌性、可燃性、助燃性、失火性、生锈性等经营性质。
[专业术语]大宗气体
指PCB电路板工厂在大中城市量的使用的氦气及氩气等,将其结合液氮一种的汽化气休实现货运,并按照挥发器将其汽化并实现天燃气。
[语句]高纯度工艺气体用
用在如半导体设备等需用挺高洁净车间度汽体的的行业。体现了利用SUS316L多次重熔或SUS316L不锈钢材质,汽体打交道位置采用了电解抛光精磨处理及外部结构摩擦良好的密封性等特性。
[术语]一般气体用
中用离子束加工工艺、了解、医学等,不必须 娴静纯度气物的服务行业。面料必选择SUS316或红铜。
[语句]一次侧高压用
便用节流阀电机外壳及集装式油田储气瓶时,将储气瓶压减压的方法至蒸汽管道压所便用的电气元件。
[专业术语]管路用
集装式阀盒(VMB)等甲烷气体确定盒等系统中,使用在1次侧直流高压用减压的方法阀的下面,用在上下调整压缩空气管道气压的部件。
[用于]大宗气体用
使用大综气态、BSGS(大综层次性气态设备)等,消耗掉很大的气态的制作线的电气元件。
[专业术语]负压调整用
应用在要有在低液体压固体处利用,使减压方法阀工作输出侧被选为正压的构件。
[用词]减压阀
将输入压力减小,使输出压力保持在一定范围的调压阀。
AP、SL、AZ、AK系列为直动型非溢流型减压阀,采用金属隔膜,可用于工艺气体。
[术语]一次侧和二次侧
一次侧减压阀是根据调节弹簧和气压的平衡而动作,因此输入侧压力改变也会使输出侧压力也随之改变。
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🌌 二次侧减压阀是一次侧减压阀两个串联的结构,先将输入侧压力减压至中间压,再减至设定压力,所以可以抑制输入压力对输出压力的影响,改善压力特性。
[语句]膜片阀芯一体结构
膜片和(座阀式)阀芯接接接的构造,膜片处释放的輸出压力差使阀可以更加稳定定,才能严防脏东西梗阻而吸引的阀外泄。
[用于]无弹簧结构
甲烷气体接触的面积一部分选用无气弹黄格局。虽选用和膜片阀芯集成格局相同之处的膜片和(座阀式)阀芯相通接的格局,但阀芯还没有气弹黄。
[用词]背压阀
使搜索压差要保持着在很大规模的调压阀,当搜索压差高出修改压差时,能能利用调压阀将很多的压差接入效果侧而使是压差要保持着在很大规模内。
[专业术语]隔膜阀
由于通过金属隔膜上下的运动而控制流路的开闭,也可作为气体断流阀使用。
🐼 由于隔膜为圆顶型并且具有弹性,接气部没有弹簧,并且隔膜将驱动部与接气部隔开,所以流路的死空间很少,形成了不易产生颗粒的结构。
[日常用语]LOTO
锁定/标记,为了保护工厂的操作人员使用。
𓆉 锁定是切断供给设备的气流,并用钥匙等固定以使其无法操ꦦ作。标记是在操作设备上安装警告标签,以防止因误操作等引起的事故。
[术语]清洗端口
輸入侧或输入侧配管网口处锡焊的除垢用网口,配管装修施工时或运维时在阀停用的环境下除垢时的使用。
[专业术语]单向阀
阀体会防止流体的背压引起逆流。
AP🥃64系列是内部可活动零件只有O型密封圈的简单结构,并且由于是不使用阀𓆉芯及弹簧的无弹簧结构,因此不必担心零件的震动和震荡等引起的颗粒产生及下流侧的压力改变。
[用于]真空发生器
利用气体从喷嘴中高速喷出时,周边的流体会被吸引产生低压这一现象来形成真空的元件。
更换高压储气瓶时,可以利用其排放配管中残留的废气。
AP71、AP72系列是带有阀和单向阀功能的模块型元件。
[日常用语]常泄功能
AP71、AP72型号中,是阀关机时,也会一定程度量的N2截流气取得依据孔口流进进气的管道,在进气的管道要求有时候长期保持不主题活动动态的状态下三十分合理。
[日常用语]流量开关
可以检测超过设定流量的过量流量,用于检测由于管道破损导致的过量流量。
此外,AP74、AP74B系列没有流量显示功能。
[日常用语]SUS316
奥氏网络体系不锈钢板,加快了镍的水平并成为了钼因素而使加快了原材料的耐腐化性。
[用于]SUS316L
SUS316的环保钢,SUS316的显著优势特点囿于还极具抗晶间腐蚀不锈钢性的显著优势特点。
[用于]SUS316L二次重熔
与普通的SUS316L相比,其材料中含有的杂质成分降低至极限的高品质材料。
APtech的材料符合SEMI标准F20的UHP等级。
[措辞]HASTELLOY®
Haynes国际公司的注册商标。
镍铬钼合金,具有良好的耐腐蚀性。
[术语]ELGILOY®
ELGILOY特种金属公司的注册商标。
钴铬镍合金,具有优秀的耐腐蚀性和高弹性。作为隔膜阀的隔膜的材料使用。
[措辞]PCTFE
聚氯三氟乙稀。高饱和度度、高强度的氟环氧树脂,具备有好的地温因素。被用到为调节情绪阀及隔阂阀的的标准(阀芯)座的文件。
[日常用语]PTFE
PTFE为全氟树酯,在生物物质上具备有相对稳确定。与PCTFE比起,具备有相同之上的耐生物物质性。是宣泄阀AP500、AP, AZ&AK1000、AP&AZ1100、AZ&AK1300的(阀芯)座原料的可供抉择原料。将宣泄阀算作阶段的工具采用时,分享抉择采用PTFE(阀芯)座的。
[日常用语]Vespel®
杜邦公司的注册商标。
耐高温塑料(聚酰亚胺树酯)。具有优良的耐💫热性和耐磨性。是在使用高温规格及N2O或CO2等特定气体时💛(阀芯)座的材料。
[专业术语]PEEK
聚醚醚酮。作为热塑性树脂具有优异的耐热性。并且具有良好的耐疲劳性和耐化学性。
是减压阀的(阀芯)座材料的选择。
[专业术语]Viton®
杜邦公司的注册商标。
氟橡胶(FKM)。具有良好的耐热性和耐化学性。
[用于]Kalrez®
杜邦公司的注册商标。
高氟橡胶(FFKM)。具有比氟橡胶更好的耐热性和耐化学性。
[用词]电解抛光
将不锈钢机件浸于电解设备液中并通电,使其表面能看上去拟合、光鲜的技术性。
[用词]钝化处理
将合金配件浸到硝酸钠等清理液中,使其在外层演变成钝化膜,以上升其耐侵蚀性。
[用词]端面密封接头
在套筒的web前端施工废金属螺母,并按照扭松螺母然后构成填料密封胶的接线头,从真空环境到+压均展示出健康的填料密封胶性。
[措辞]配管焊接
在液压元器件封装做出配管时,不使用的金属接头间接对配管做出电弧焊接。
[专业术语]压合接头
转动式管金属接头,运行两重套圈,并经由扭紧螺母使套圈与配管转动然而连结。
[专业术语]内表面粗糙度 Ra
表示主体内表面(接气部)的表面粗糙度。Ra是粗糙度的算术平均值,是参考长度下表面形状峰谷的平均值。Ra max是任意部分的多个粗糙度算术平均值Ra的测量值中最大的数值。
[用于]Cv值
阀的体积常数。代表15.6℃的水在某种压强差龌龊过阀时的客流量的指值为。确定做法具备SEMI规则的F32。该指值为为减压的方法阀开高环境下的值。
[专业术语]开启压力
单线阀气压持续上升,阀开启开启,达很大留量时的气压。
[措辞]最高真空压力
抽真空体有器范围英文出现的抽真空体压强的最主要值。
[措辞]slpm
Standard Liter(升)/min的缩写。
表示0℃、1个大气压下1分钟的体积流量。
[专业术语]压力特性
显示调节情绪阀的放入阻力保证在一定的的情况,将设计阻力(效果阻力)设计在相应均值后,跟随着放入阻力的影响而造成的的效果阻力影响量。
[日常用语]内侧泄漏
设备内的心理压力值降到对外心理压力值时会出现的,从设备对外向内外泄的量。检验时须要将设备内置入蒸空,从对外吹氦气,检验进来内的氦气。检验方式符合要求SEMI标准规范F1。
[日常用语]外侧泄漏
成品内壁的压强如果超过外观压强时进行的,从成品内壁向外观氯气散失的量。的监测工具时要要向成品内壁充填氦气,的监测工具散失到外观的氦气。的监测工具技巧具有SEMI标F1。除此以外,成品的目录史籍的内侧散失参考值钟罩法测定的参考值。
[措辞]内部泄漏
新设备内层组织的阀块部件的漏洞量。检则具体方法符合要求SEMI要求F1。最后,新设备的目录记录的宣泄阀内层组织漏洞临界值钟罩法精确测量的参数值。
[措辞]钟罩法
氯气流露加测策略的另一种,将封入氦气的检验体至于钟罩(机械泵烧杯)内,并无线连接上钟罩内的检漏器,加测检验体流露至钟罩内的氦气。
[措辞]SEMI标准
半导体建材、手机平板现示器、nm水平、MEMS、太阳星能发电量、另一涉及到的水平的营造机器设备·建材·供给涉及到的业务的企业的的香港国际产业的发展针灸学会(SEMI)发行额的是自愿选择性规范。