描述方面为一般的性基本特征，基于的工艺前提条件有所为不同有所为变现。简单数据请顾问胶封物料茶叶品牌。
FKM（氟橡胶）

气体放出少、压缩永久变形小、气体渗透量小，被广泛地作为高真空密封材料使用。 SMC高真空型L型阀的标准材料使用的为三菱电线工业（株）制（复合物No.1349-80）。
另有利用O2等离子体从而改善了重量减少率的复合物（3310-75），请根据用途选择。

Kalrez®

Dupont Elastomers公司的注册商标。
耐热性，耐化学性优良的高氟橡胶（FFKM），但需注意压缩永久变形。还拥有抗等离子体性（O2、CF4）和防尘性的改良产品，请根据用途选择。
复合物No.4079：，具有良好的耐气体性和耐热性的标准Kalrez材料。

Chemraz®

Chemraz®是Green，Tweed&CO.公司的注册商标。
耐化学品性、耐等离子体性优良的全氟橡胶（FFKM）。是耐化学品性、耐等离子体性优良的高氟橡胶（FFIKM）。耐热性也比FKM稍高。请根据使用的等离子体及其他条件进行选择。
复合物No.SS592：具有优秀的物理特性，在运动部分使用具有更好的效果。
复合物No.SS630：可用于固定部分及运动部分，用途广泛。
复合物No.SSE38：专门开发用于高密度等离子体，在Chemraz中是洁净度最高的材料。

Barrel Perfluoro®

松村石油(株)的注册商标。
复合物No.70W：不含有金属填🍎充材料的高氟橡胶（FFKM）。对NF33·NH3具有🌠抗性。在干燥工艺环境下产生颗粒少，压缩永久变形也相对较小。

ULTIC ARMOR®

日本华尔卡工业（株）的注册商标。
不含有金属填充材料的氟橡胶。是具有抗等离子体性、低气体释放性、耐热性的密封材料。

有机硅塑料（硅胶、VMQ）

相对低价且抗等离子体性良好，但气体渗透量大。
SMC高真空💜L型阀（密封材料选项）为三菱电线工业（株）制（复合物No：1232-70白）。在O2等离子体、NH3气体下使用，具有低重量减少率、低颗粒等特点。

EPDM（乙丙橡胶） 相比较底价且耐 性、耐耐腐蚀性、耐温性充分，但对正规矿油丝毫没有抗性。SMC高真空泵L型阀（封闭用料应用设置）为西门子家用电线产业（株）制（和好物No：2101-80）。具对NH3等兼有抗性。

波纹管 煤尘存在及气物增加量非常少，是的清洁的封好方法步骤。发展趋势是成品气泡管气泡管和锡焊气泡管。一几个方面煤尘存在较少比较耐尘性强，后一个里程大，但在煤尘存在及耐尘几个方面很强。要准备其持久性受里程及时间的影响力。
O形密封圈等 气态吸多、粉尘爆炸引起等部份的正空性能参数稍劣于气泡管式，但可髙速转动且耐用度性对于较高。轴封闭部份一般来说会涂沫氟润滑剂脂。

阀开启 向运作电量磁阀增加电压电流后，阀(XL□)的里程英文的做出至90%的用时段为阀来崩溃用时段。阀来运动用时段为里程英文着手至做出到里程英文的90%的用时段。两种均为运作水压越高用时段越快。
阀关闭 将进行基本操作电量磁阀的电源开关上合，阀(XL□)归回至形成90%的时刻为阀闭合死机时刻。阀闭合运动时刻为阀闭合至归回到形成90%的时刻。这两者均为进行基本操作压差越高时刻越长。

孔的流导 在纤薄板中具备øA（cm2）的大小的孔的时候下，V为气态的总值效率，R为气态常数，M为分子结构量，T为根本温暖，流导“C”为C=VA/4=(RT /2πM))0.5A、在20℃的暖空气下、流导C=11.6A(L/sec)。
圆筒的流导 厚度为L(cm)直经为D(cm),在L>D的实际情况下、致使C=(2πRT/M)0.5D3/6L，在20℃的的空气下，流导C=12.1D3/L(L/sec)。
短管的流导 能否简单化地由该图（克劳辛常数图）的克劳辛常数K和孔的流导C总结短管的流导CK，CK=KC。
流导的合成

各个流导为C1、C2…Cn，则合成流导ΣC为
　　串联配管时 ΣC=1/(1/C1+1/C2+…+1/Cn)
　　并联配管时 ΣC=C1+C2+…+Cn

支承和吸有在金屬等的面和极浅的内部结构的气味，伴随压为下调从面脱落飞进真空气中的现像。这伴随着面的先滑度及阳极氧化膜的密切性而减少。

实验室气体拉出Qg和窃取量Q(L)的和为Q(Pa・m3/s)，进气时间为S(m3/s)时，则送达各种重压P(Pa)为P=Q/S。送达各种重压除受作出Qg、Q(L)S的引响认知能力，还遭到泵自己的的送达各种重压所规定，当各种重压较低时泵自己的的进气性能指标会遭到较少引响。格外是泵自己的的弄脏从而形成进气性能指标越来越低、美观窃取从而形成的浸水会对其从而造成甚大的引响。

在无漏粪的体积为V(L)的面积，用res改装排气管阀阀管流速快为S(L/sec)的气泵从的压力P1向P2res改装排气管阀阀管的周期(Δt)，之所以只能有体积的res改装排气管阀阀管承载，则Δt=2.3(V/S)log(P1/P2)。在高重力作用下，之所以有表层层（实验室气体释放出来）的res改装排气管阀阀管承载，之所以受面积的表层情况下和表层积各种泵的res改装排气管阀阀管流速快的的影响。

活化能（E）较小吸附时间（τ）较短的氧气、氮气等可以较快排出。但活化能较大的情况下排气无法进行，提高温度（绝对温度T）后吸附时间缩短则可以快速排出。R为气体常数，则τ0=(約)10-13sec、τ=τ0 exp(E/RT)。
例如，水的吸附时间在20℃时为5.5×10-6sec，在150℃为2.8×10-8sec约为前者的1/200，可以将吸附时间较🦂长的水快速排出。