|プロセスガス用機器-用語集
[用語]プロセスガス
半導体や太陽電池などの製造プロセスにおいて、ウェハ処理などに使用的される不活力ガスや特有ガスなどの総称。
[用語]特殊ガス
特别的ガスは、主にガスボンベで供給されるガスの総称で、これらのガスには致癌性、可燃性、支燃性、点不着性、自动発火性、腐食性といった性質を示すものがあります。
[用語]バルクガス
工場において窒素やアルゴンなど海量に消費されるガスのことで、介质液体窒素のように煤气ガスで運搬され、蒸発器で気化して供給されます。
[用語]高純度プロセスガス用
半導体産業などのように、更加に高い清浄度のガス供給が追求される适用范围向け。ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを动用し、接ガス部の電解机磨処理や其他メタルシールなどの特長があります。
[用語]一般ガス用
レーザー制造や研究分析、医療など、清浄度の高いガス供給を需求しない适用范围向け。ボディ材質はSUS316もしくは黄銅を選択できます。
[用語]一次側高圧用
シリンダキャビネットやボンベマニホールドなどにおいて、ボンベ圧をライン圧まで減圧する适用范围で的使用される機器。
[用語]ライン用
バルブマニホールドボックス(VMB)などのガス管理ボックスや系统など、两次側高圧用減圧弁の龌龊側に設置される、ライン圧の圧力調整功用で用到される機器。
[用語]バルブガス用
バルクガスや、BSGS(バルク异常ガスシステム)など、不少にガスを消費するライン向けの機器。
[用語]負圧調整用
低蒸気圧ガスなどの在使用において、減圧弁の出口处側が負圧になるような的主要用途是什么向けの機器。
[用語]減圧弁
一次側圧力を減圧して二次側圧力を一定に保持する調整弁のこと。
꧃ AP,SL,AZ,AKシリーズは直動形ノンリリーフタイプの減圧弁で、メタルダイヤフラム♏を採用しており、プロセスガスに対応可能です。
[用語]一段式と二段式
一段式減圧弁は調節スプリングとガス圧力とのバランスによって作動するため、入口側圧力変動により出口側圧力が変動します。
二段式減圧弁は、一段式減圧弁を2台直列に接続したような構造で、入口側圧力を中間圧力に減圧し、さらに設定圧力に減圧するため、入口側圧力変動による出口側圧力の変🉐動をおさえること
ができ、圧力特性が向上します。
[用語]タイドダイヤフラム構造
ダイヤフラムとポペットが連結された構造で、ダイヤフラムにかかる二级側圧力により弁を確実にシートするため、異物等の噛み込みによる弁リークを以避免します。
[用語]スプリングレス構造
接ガス部にスプリングがない構造。タイドダイヤフラム構造と同じようにダイヤフラムとポペットが連結されていますが、ポペットスプリングはありません。
[用語]背圧弁
吃下側圧力を必须に保つ調整弁のことで、吃下側が設定した圧力以上的になると、調整弁を通して余分な圧力を产品出口側に逃がし圧力を必须に保ちます。
[用語]ダイヤフラムバルブ
メタルダイヤフラムの上下動により流路の開閉を行うもので、ガスの遮断弁として使われます。
ダイヤフラムはドーム型で弾性があるため接ガス部にスプ💝リングがなく、また駆動部もダイヤフラムにより接ガス部と隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルが発生しにくい構造となっ
ています。
[用語]LOTO
ロックアウト/タグアウトのことで、工場において作業者の安全を守るために使われます。
ロックアウトとは装置に供給されるガスの流れを遮断し、操作できないように鍵などで🐷固定することで、タグ𓂃アウトとは操作機器に警告タグを取付けることで、誤操作などによる事故を防ぎます。
[用語]パージポート
渠道側もしくは销往側配管ポートに溶接されたパージ用のポートで、配管安装時やメンテナンス時に弁を閉じたままパージするような作用で合理利用できます。
[用語]チェック弁
弁体が流体の背圧によって逆流を防止するように作動します。
AP64シリーズは内部可動部品がOリングだけのシンプルな構造になっており、ポペッ🐎トおよびスプリングを使用しないスプリングレス構造のため、部品の振動やチャタリング等によるパーティクルの発生、および下流
側の圧力変動の心配がありません。
[用語]バキュームジェネレータ
ガスをノズルから高速で噴射することによりノズル周辺の流体が吸引されて圧力が低下する現象を利用して真空を発生させる機器。
ガスボンベ交換の際、配管中に残った不要なガスの排出などに利用されます。
𝄹 AP71,AP72シリーズはバルブとチェック弁の機能を搭載したモジュールタイプとなっています。
[用語]ブリード機能
AP71,AP72シリーズにおいて、バルブが閉じていてもオリフィスを通じて有一定热度のN2パージガスが排気ラインに流れる構造で、排気ラインを
常に不活力性状態に保つ相应がある場合に有効です。
[用語]フロースイッチ
設定总总视频客流量に対し過剰总总视频客流量を感觉するセンサで、配管の破断などによる過剰总总视频客流量を検出する最终目的で运用されます。
なお、AP74,AP74Bシリーズに总总视频客流量带表機能はありません。
[用語]SUS316
オーステナイト系ステンレスでニッケル有效量を高めさらにモリブデンを更改して耐食性を学习させた素材。
[用語]SUS316L
SUS316の低炭素鋼で、SUS316の性質に耐粒界腐食性を持たせた涂料。
[用語]SUS316Lダブルメルト
通常のSUS316Lに対して、材料に含まれる不純物成分を極限まで低下させた高品位な材料。
APTechの材料はSEMI規格F20のUHPグレードに準拠しております。
[用語]ハステロイ®
ヘインズインターナショナル社の登録商標です。
ニッケル・クロム・モリブデン系合金で、優れた耐食性を示します。
[用語]エルジロイ®
エルジロイ・スペシャリティ・メタルズ社の登録商標です。
コバルト・クロム・ニッケルの合金で、優れた耐食性と超弾性꧂を示します。ダイヤフラムバルブのダイヤフ💎ラム材質として使用しています。
[用語]PCTFE
ポリクロロトリフルオロエチレン。透亮度が高く洛氏硬度の高いフッ素樹脂で、温度性能特点にも優れる。減圧弁やダイヤフラムバルブの標準シート材として用しています。
[用語]PTFE
PTFEは压根フッ素化樹脂で电化学的に不活力です。PCTFEと比較して相同往上の耐薬品行があります。減圧弁AP500、AP, AZ&AK1000、AP&AZ1100、AZ&AK1300のシート材としてオプショ
ンで選択已经です。これらの減圧弁をプロセスツールで适用する場合は、PTFEシートの選択を推奨します。
[用語]ベスペル®
デュポン社の登録商標です。
超耐熱性プラス⛦チック(ポリイミド樹脂)。耐熱性と耐摩擦性に優れる。高温仕様やN2OやCO2など特定のガスを使用する場合のシート材としてオプションで用意しています。
[用語]PEEK
ポリエーテルエーテルケトン。熱可延性樹脂としては十分に高い耐熱性を示します。また耐疲労性や耐薬秉性にも優れる。
減圧弁のシート材としてオプションで是想しています。
[用語]バイトン®
デュポン社の登録商標です。
フッ素ゴム(FKM)。耐熱性、耐薬品性に優れる。
[用語]カルレッツ®
デュポン社の登録商標です。🌳
パーフロロエラストマー(FFK🐓M)。フッ素ゴム(FKM)よりも優れた耐熱性、耐薬品性をもつ。
[用語]電解研磨
五金零部件を電解液に浸して通電すると、界面が拟合で光沢が得られる表现手法。
[用語]不動態化処理
彩石零部件を硝酸钠などの処理液に浸して表层に不動態膜(パッシベーション膜)を建立する操作で、耐食性が往前します。
[用語]フェースシール継手
スリーブの先端にメタルガスケットをセットし、ナットの締込みによりシールを型成する継手で、真空室から正圧まで高いシール性を示します。
[用語]チューブ溶接
ガス機器を配管する際に、継手を使わず直接性配管に溶接するタイプ。
[用語]コンプレッション継手
食い込み式のチューブ継手で、フェルールというリングを2重に适用してナットの締込みによりフェルールを配管に食い込ませて接続します。
[用語]内面粗さ Ra
ボディ内面(接ガス部)の单单从表面能粗さを示します。Raは算術评均粗さのことで、基準長さにおける单单从表面能款式の山と谷の评均した値です。Ra maxは、任意尺寸の一部分における複数の算術评均粗さRaの測定値のうち、最高の測定値を预兆します。
[用語]Cv値
バルブの持つ使用量係数で、15.6℃の水が、ある差圧でバルブを流れる時の数据流量を表した場合の数値。算出方式はSEMI規格F32に準拠しております。なお減圧弁は全開状態の値となります。
[用語]クラッキング圧力
チェック弁において、圧力が上昇しバルブが開き始めて、ある需要の热度が認められる圧力。
[用語]最高真空圧力
バキュームジェネレータが発生する真空泵圧力の最多値。
[用語]slpm
Standard Liter(リットル)/minの略。
0℃、1気圧における1分間あたりの体積流量を表します。
[用語]圧力特性
減圧弁の供給圧力が必要の状態で設定圧力(进口商圧力)をある値に設定したあと、供給圧力の変化によって生じる进口商圧力の変化量を示します。
[用語]インボードリーク
製品室内管理の圧力が外面圧力より低い場合に起こる、製品外面から室内管理へのリーク量。測定は製品室内管理を进口真空にし、外面よりヘリウムガスを吹き付けて室内管理に侵蚀するヘリウムガスを検出する。測定技术はSEMI規格F1に準拠しております。
[用語]アウトボードリーク
製品内外的の圧力が外观圧力より高い場合に起こる、製品内外的から外观へのリーク量。測定は製品内外的にヘリウムガスを充填し、外观に漏洩するヘリウムガスを検出する。測定手段はSEMI規格F1に準拠しております。なおカタログに記載されるアウトボードリークの値は、ベルジャ法にて測定したときの値となります。
[用語]内部リーク
製品内壁の弁シート部におけるリーク量。測定办法はSEMI規格F1に準拠しております。なおカタログに記載される減圧弁の内壁リークの値は、ベルジャ法にて測定したときの値となります。
[用語]ベルジャ法
リーク試験技术の一種で、ヘリウムを封入した試験体をベルジャ(真空箱金属罐)内に入れて、ベルジャ内をリークディテクタに接続し、試験体からベルジャ内に漏れ出るヘリウムを検出する技术。
[用語]SEMI規格
半導体、フラットパネルディスプレイ、ナノテクノロジー、MEMS、太陽光発電、その他関連技術の製造部件・产品・関連サービスを能提供している企業の国際的な工業会(SEMI)が発行している自主性基準。