|高真空機器-用語集
ガス放出・圧縮永久歪・ガス透過量も少なく高真空用シール材質として普及しています。SMC高真空L型弁の標準材質は、三菱電線工業(株)製(配合No 1349-80)を使用。 O2プラズマによる重量減少率を☂改善した配合(3310-75)もあり、用途により選定することが望ましい。
Kalrez®(カルレッツ®)デュポンエラストマー社の登録商標です。 耐熱性・耐薬品性が優れたパーフロロエラストマー(FFKM)ですが、圧縮永久歪につきましては注意が必要です。耐プラズマ性(O2,CF4)を改善した配合や耐ダスト改善品もあり、用途により種類を選定することが望ましい。 配合No 4079:優れた耐ガス性・耐熱特性を有する標準カルレッツ材料。
Chemraz®(ケムラッツ®)グリーン,ツイード アンド カンパニー社の登録商標です。耐薬品性・耐プラズマ性に優れたパーフロロエラストマー(FFKM)。耐熱性もFKMよりやや高くなります。使用されるプラズマやその他の条件により選定することが望ましい。 配合No SS592:優れた物理特性を持ち、特に運動部での使用に効果的。配合No SS630:固定部・運動部どちらにも使用でき、幅広い用途に対応。配合No SSE3💧8:高密度プラズマ装置用に開発された、ケムラッツ®の中で最もクリーン度が高い材質。
Barrel Perfluoro®(バーレルパーフロ®)松村石油(株)の登録商標です。 配合No 70W:金属充填材を含まないパーフロロエラストマー(FF💟KM)。NF🦩3・NH3に耐性あり。ドライプロセス環境下でパーティクルの発生が少なく、圧縮永久歪も比較的少ない。
ULTIC ARMOR®(アルティックアーマー®)日本バルカー工業(株)の登録商標です。 ꦚ 金属充填材を含まないフッ素系ゴム。耐プラズマ性・低放出ꦓガス特性・耐熱性を付与したシール材質。
Silicone(シリコーンゴム, VMQ)比較的安価で耐プラズマ性が良いが、ガス透過が大きくなります。 SMC高真空L型弁(シール材オプション)では、三菱電線工業(株)製(配合No 1232-70🎐 🐟白)を使用。O2プラズマ・NH3ガスに対して、低重量減少率・低パーティクル特性を持つ。
EPDM(エチレンプロピレンゴム) 比較的安価で耐碱性・耐薬秉性・耐熱性に優れるが一样の鉱油には全く意志力が無い。SMC高抽真空L型弁(シール材オプション)では、三凌電線工業(株)製(协调一致No 2101-80)を操作。NH3ガスなどに意志力を有する。それぞれのコンダクタンスをC1 C2・・・ Cnとした場合の合成コンダクタンスΣCは、 直列配管の場合 ΣC=1/(1/C1+1/C2+・・・ +1/Cn) 並列配管の場合 ΣC=C1+C2+・・・ +Cn となります。
活性化エネルギー(E)が小さく吸着時間(τ)の短い、酸素 窒素などは早く排気されますが、活性化エネルギーの大きい水の場合は排気が進まず、温度(絶対温度 T)を上げ吸着時間を短くして早く排気させます。Rがガス定数、τ0=(約)10-13secで、τ=τ0 exp(E/RT)となります。 例えば水の吸着時間は20°Cでは5.5×10-6secで、150℃では2𒉰.8×10-8secで約1/200になり、特に吸着時間の長い水を早く排気させる事が目的です。